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电子束蒸发镀膜的特点
电子束蒸发镀膜的特点
电子束蒸发镀膜机是在工业中比较常使用的薄膜制造设备,由于蒸发镀膜机的特点在生产薄膜的时候发挥了巨大的作用,薄膜的产生主要是通过镀膜机中的电子束的加热产生的。
合金靶材的制作方法
特种熔炼法:将一定成分配比的合金原料熔炼,再将合金溶液浇注于模具中,形成铸锭,最后经机械加工制成靶材,铸造法在真空中熔炼、铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等,其优点是靶材杂质含量(特别是气体杂质含量)低,密度高,可大型化;缺点是对熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属,普通熔炼法难以获得成分均匀的合金靶材。
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